机型特性

• 适用不同宽度石墨舟，一机多用，切换方便快捷，性价比高；

• 固晶速度可达18K/H（周期200ms），满足高效生产的需求；

• 自动上下料方式，料盒可放多个石墨舟，大大降低人工成本；

• 顶针机构可实现单顶针和3顶针互换，满足不同尺寸晶片需求；

• 工作台和晶片滑台均为高精度光栅尺直线电机平台，高速高精度定位，寿命长，免维护；

• 具备晶片上墨点和边缘识别功能，墨点、边缘片、空位自动跳过；

• 机器采用界面上全数字化操作，稳定性好，抗干扰强，避免物理按钮易损坏的缺点；

• 机械结构、软件以及控制电路全部自主开发，掌握固晶核心技术。

规格参数

生产周期：200ms(取决于晶片尺寸及支架）

固晶位置精度：±1.5mil(±0.038mm)

芯片旋转：±3°

固晶台工作宽度：60mm～120mm

固晶台工作长度：150mm～230mm

滑台分辨率：0.5μm

滑台重复精度：±2.5μm

芯片尺寸：5mil×5mil～200mil×200mil (0.127mm×0.127mm～5.08mm×5.08mm)

最大晶环尺寸：8''(230mm)外径

最大晶片面积：7.1''(180mm)扩张后

图像识别：256级灰度

分辨率：596×448像素

识别精度：±0.025mil@50mil观测范围

固晶头：真空表面吸取式

固晶臂：90°

固晶力度：20～200g可调

点胶头：表面蘸取式

点胶温度：温室～100℃

电源：单相220V AC±10%、50HZ,可靠接地

消耗功率：700W

气源：0.3～0.7Mpa

外形尺寸：1270mm(宽）×1320mm(深）×1780mm（高）

净重：600kg